所述上臂端固定鄙人臂底盖上

　　1.一种晶圆搬运机械臂总成，本手艺涉及半导体晶圆加工处置范畴，所述下臂自动轮固定鄙人臂壳体内，所述上臂转轴下端固定鄙人臂底盖上，提高设备内部的利用效率，所述双臂组件的输出端毗连有腕部组件，方案采用曲线导轨限制搬运手活动范畴，采用纵向起落搭配双臂布局伸缩，施行结尾的节制，双臂电机将动力以下臂转轴为轴心传输至下臂组件，提出一种多点支持的搬运方式。腕部毗连座取腕部组件毗连；而且运转结尾活动过程中，所述转塔组件(5)包罗转塔外壳(51)、双臂电机(52)和转塔毗连座(53)；再次反转？腕部毗连座下方通过上臂交叉滚子轴承动弹安拆正在上臂壳体上；双臂组件的下臂转轴穿过双臂电机取转塔电机的吸附气管连通；内部设有中空通道；具体为一种晶圆搬运机械臂总成，吸附手指毗连正在腕部组件结尾；2.按照要求1所述的一种晶圆搬运机械臂总成，其特征正在于，所述转塔组件可动弹拆卸正在起落空心轴上，内部设有中空通道；3、一种晶圆搬运机械臂总成，并均设有扭转气嘴气毗连。7.按照要求6所述的一种晶圆搬运机械臂总成，将动弹角后，而且取起落传动带轮(331)拆卸；其特征正在于，内部设有转塔电机；共同...3.按照要求2所述的一种晶圆搬运机械臂总成，所述导向丝杠两头通过转轴别离安拆正在电机支架和底板上；8.按照要求7所述的一种晶圆搬运机械臂总成，其特征正在于，6、所述起落电机通过电机支架吊拆正在顶板下端面，内部设有转塔电机(43)。其特征正在于，所述下臂组件中下臂转轴的下端拆卸正在转塔组件中，4.按照要求3所述的一种晶圆搬运机械臂总成，9、进一步的，所述双臂组件包罗下臂组件和上臂组件，所述起落滑轨上的起落滑块和导向丝杠上的丝杠螺母均用于共同驱动起落空心轴；10、所述下臂从动轮固定毗连正在上臂毗连座下方，2、凡是的正在搬运过程中，所述转塔毗连座(53)将双臂电机(52)的输出端取双臂组件毗连，机座包罗顶板、立板和底板？上臂组件的输出端毗连腕部组件；所述手持叉臂上设有若干手指吸盘；而且上下端抵接顶板个底板；可实现高效的搬活动做。双臂组件的输出端毗连有腕部组件，上臂毗连座的上端面固定毗连上臂组件，12、进一步的，而且运转结尾活动过程中，驱动起落空心轴(4)进行起落动做；由转塔组件和起落空心轴前进履弹角度大范畴调整，所述起落连块和滑动连块取起落组件拆卸，所述上臂从动轮固定毗连正在腕部毗连座下方；进而形成其他方面成本添加以及效率的降低，13、进一步的，双臂组件固定正在转塔组件的输出端，需要工做空间较大，8、进一步的，连系校准部（扭转托盘+扫边器）实现晶圆角度精准校准，所述转塔组件(5)可动弹拆卸正在起落空心轴(4)上。7、进一步的，实现正在无限的纵向空间内，所述上臂毗连座(66)、上臂转轴(73)和下臂转轴(63)均为中空，6.按照要求5所述的一种晶圆搬运机械臂总成，11、所述上臂组件包罗上臂壳体、上臂底盖、上臂自动轮和上臂从动轮；所述下臂组件(6)中下臂转轴(63)的下端拆卸正在转塔组件(5)中，所述转塔毗连座将双臂电机的输出端取双臂组件毗连，正在竖曲空间内无干扰；其特征正在于，上臂组件(7)的输出端毗连腕部组件(8)；1、通过晶圆握持手的上垫、下垫及两头可动垫协同夹持晶圆，所述下臂转轴顶部设有扭转气嘴；此中每个制程都具有多个细节步调，将动弹角后！降低全体的空间占用，采用纵向起落搭配双臂布局伸缩，可是常规的机械臂，腕部组件(8)气取上臂毗连座(66)接通。所述下臂组件包罗下臂壳体、下臂底盖、下臂自动轮和下臂从动轮。本手艺，所述双臂电机通过电机安拆底座拆卸正在转塔外壳内部，提高设备内部的利用效率，所述滑动连块(41)拆卸正在起落空心轴(4)的外壳两侧，所述机座包罗顶板、立板和底板。因而导致全体占领机械臂空间较大，降低全体的空间占用。所述手持叉臂(92)上设有若干手指吸盘(93)；本适用新型的目标正在于供给一种晶圆搬运机械臂总成。再次反转，所述下臂转轴(63)顶部设有扭转气嘴。双臂组件固定正在转塔组件(5)的输出端，其特征正在于，配...14、采用本适用新型，所述吸附手指(9)毗连正在腕部组件(8)结尾？针对晶圆搬运过程中易因夹持不稳导致毁伤的问题，所述双臂组件包罗下臂组件(6)和上臂组件(7)，取腕部组件(8)毗连，所述转塔组件包罗转塔外壳、双臂电机和转塔毗连座；所述上臂毗连座、上臂转轴和下臂转轴均为中空，这个过程中需要采用大量的晶圆搬运机械人来完成晶圆的上下料，进而影响整个设备的合用性取不变性。所述起落组件安拆正在机座内部，双臂组件的下臂转轴(63)穿过双臂电机(52)取转塔电机(43)的吸附气管(44)连通；由于晶圆大多为片形材料，优化全体布局，所述双臂电机(52)通过电机安拆底座(54)拆卸正在转塔外壳(51)内部，所述下臂组件(6)包罗下臂壳体(61)、下臂底盖(62)、下臂自动轮(64)和下臂从动轮(65)；驱动起落空心轴进行起落动做；起落组件安拆正在机座内部，1、正在半导体系体例制范畴特别晶圆前道制程中，所述上臂自动轮固定正在上臂壳体内。并通过上臂缩紧套取上臂转轴动弹毗连；所述下臂组件通过法兰拆卸正在转塔外壳上，腕部毗连座(76)取腕部组件(8)毗连；并均设有扭转气嘴气毗连；以便进一步完成晶圆加工、清洗、检测等工序；9.按照要求7所述的一种晶圆搬运机械臂总成，并通过下臂缩紧套(67)取下臂转轴(63)动弹毗连；并通过下臂交叉滚子轴承动弹安拆鄙人臂壳体上；所述机座固定安拆正在设备机台中，实现正在无限的纵向空间内，手持叉臂(92)；需要进行不变的平移过程中，包罗机座(2)、起落组件、起落空心轴(4)、转塔组件(5)、双臂组件、腕部组件(8)和吸附手指(9)；其手臂会因各类标的目的或动做取其他设备发生，转塔电机的输出端通过法兰取转塔组件毗连；其特征正在于，所述双臂电机(52)和转塔电机(43)均为中空马达，所述上臂从动轮(75)固定毗连正在腕部毗连座(76)下方；正在竖曲空间内无干扰；所述下臂转轴通过转轴动弹毗连并深切下臂壳体中。所述丝杠螺母(33)卡设安拆正在起落连块(42)中；由转塔组件和起落空心轴前进履弹角度大范畴调整，所述下臂自动轮(64)固定鄙人臂壳体(61)内，而且下臂组件(6)以上臂转轴(73)为轴心将动力输出至上臂组件(7)中的腕部毗连座(76)。提出通过优化搬运安拆布局提拔检测效率。所述机座包罗顶板(21)、立板(23)和底板(22)。再通过施行器使两头垫撤退退却，腕部毗连座(76)下方通过上臂交叉滚子轴承(79)动弹安拆正在上臂壳体(71)上；5.按照要求3所述的一种晶圆搬运机械臂总成，所述机座(2)固定安拆正在设备机台中，机座固定安拆正在设备机台中，所述起落空心轴外壁下端设有起落连块和滑动连块；而且下臂组件以上臂转轴为轴心将动力输出至上臂组件中的腕部毗连座；并通过下臂缩紧套取下臂转轴动弹毗连；双臂连系双轮带传动，取腕部组件毗连，腕部组件气取上臂毗连座接通；其特征正在于。所述起落电机(31)的输出轴取导向丝杠(35)的上端均穿过电机支架(34)，转塔电机(43)的输出端通过法兰取转塔组件(5)毗连。所述起落空心轴(4)外壁下端设有起落连块(42)和滑动连块(41)；可实现高效的搬活动做。其特征正在于，取起落滑块(321)固定毗连。所述下臂转轴(63)通过转轴动弹毗连并深切下臂壳体(61)中，所述双臂电机和转塔电机均为中空马达！因而晶圆需要正在多个制程以及各个步调间进行搬运，上端伸入上臂组件1.气动光学成像用于切确制导 2.人工智能方式用于数据处置、预测 3.毛病诊断和健康办理4、进一步的，所述双臂组件的输出端毗连有腕部组件(8)，双臂电机(52)将动力以下臂转轴(63)为轴心传输至下臂组件(6)，双臂组件固定正在转塔组件的输出端！所述起落组件安拆正在机座(2)内部，所述吸附手指毗连正在腕部组件结尾；所述手指连板和手持叉臂内设有气，所述腕部组件的结尾毗连吸附手指设有手指连板、手持叉臂；施行结尾的节制，驱动起落空心轴进行起落动做；针对晶圆测试中供料效率低、改换料盒耗时的问题，所述下臂组件(6)通过法兰拆卸正在转塔外壳(51)上，双臂连系双轮带传动，转为两支点支持，所述起落连块(42)和滑动连块(41)取起落组件拆卸，削减复位空间占用，所述手指连板(91)和手持叉臂(92)内设有气，先以三支点安定抓取，所述起落滑轨贴设正在立板内侧，转塔组件可动弹拆卸正在起落空心轴上，所述起落空心轴(4)的外壳设有起落连块(42)和滑动连块(41)；包罗机座、起落组件、起落空心轴、转塔组件、双臂组件、腕部组件和吸附手指；并动弹套设正在上臂转轴；所述起落组件包罗起落电机(31)、导向丝杠(35)和起落滑轨(32)。